采购项目名称

中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束刻蚀单元

品目

货物/设备/仪器仪表/试验仪器及装置/其他试验仪器及装置

采购单位

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

行政区域

上海市

公告时间

2026年01月21日14:47

评审专家名单

张贵荣、蔡玉平、张为群、李军、苏泳全

总中标金额

￥482.500000万元（人民币）

联系人及联系方式：

项目联系人

陈永亮

项目联系电话

021-66272917

采购单位

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

采购单位地址

上海市长宁区长宁路865号

采购单位联系方式

纪老师021-62511070

代理机构名称

上海中招招标有限公司

代理机构地址

上海市静安区恒丰路600号机电大厦5楼C座办公室

代理机构联系方式

陈永亮、刘梦蝶021-66285507、18817958679

附件：

附件1

离子束刻蚀单元-招标文件-发售稿-20251229(2).pdf

一、项目编号：STC25A780（招标文件编号：STC25A780）

二、项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束刻蚀单元

三、中标（成交）信息

供应商名称：合肥微芸半导体科技有限公司

供应商地址：上海市浦东新区王桥路689号1幢

中标（成交）金额：482.5000000（万元）

四、主要标的信息

序号

供应商名称

货物名称

货物品牌

货物型号

货物数量

货物单价(元)

1

合肥微芸半导体科技有限公司

反应离子束刻蚀的离子源系统

微芸

非标

1套

4825000

五、评审专家（单一采购人员）名单：

张贵荣、蔡玉平、张为群、李军、苏泳全

六、代理服务收费标准及金额：

本项目代理费收费标准：100*1.5%+382.5*1.1%，由中标人支付。

本项目代理费总金额：5.707500万元（人民币）

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

推荐理由：合肥微芸半导体科技有限公司，综合得分97.20，其报价最低，技术方案较优、类似业绩较多，汇总后，其综合得分最高，故推荐其为中标人。

各有关当事人如对中标结果有异议，请于本中标公告期限届满之日起7个工作日内以书面形式向上海中招招标有限公司（地址:上海市静安区恒丰路600号机电大厦5楼C座办公室，邮编：200070，联系人：陈永亮，联系电话：18317094335，传真：021-66272917）提出质疑，并附相关证明资料，逾期将不再受理。

九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

地址：上海市长宁区长宁路865号

联系方式：纪老师021-62511070

2.采购代理机构信息

名称：上海中招招标有限公司

地址：上海市静安区恒丰路600号机电大厦5楼C座办公室

联系方式：陈永亮、刘梦蝶021-66285507、18817958679

3.项目联系方式

项目联系人：陈永亮

电话：021-66272917